| 品牌 | 昊量光电 | 产地类别 | 国产 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 综合 | 设备尺寸 | 2010×1200×1425 mm |
| 重量 | 650 kg | XY行程 | 350×350 mm |
| Z轴行程 | 100mm | XY分辨率 | 50nm |
| 传感器分辨率 | 3nm | 测量范围 | 25mm |
| 传感器 | 白光共焦/WLI/红外 |
昊量光电/星朗浩宇立式轮廓形貌测量仪
cyberSCAN CT350T是一种非接触式双面光学形貌测量设备，具有350mm XY定位平台位于大理石平台上下两侧的传感器分别安装在100 mm高精度自动Z轴上，同步采集高度测量数据并在垂直方向上保持物理上的同轴安装，以确保差分厚度测量的高精确性SCANSUITE分析软件可同时生成上、下表面的二维剖面或三维形貌数据，并计算出相应测量位置的形貌总厚度。运动系统利用高精度的直线电机，通过4kHz采样率触发传感器，使扫描速率大化。搭配的白光共焦传感器的纵向分辨率最小可达3nm，量程最高可达25mm。通过特制的安装板，该系统可作为标准的单面光学表面轮廓仪使用，同时还可保留T型双面测量设备厚度测量的多功能性。该系列设备还可提供多种规格版本，如CT250T及CT600T以满足多种应用场景。
昊量光电/星朗浩宇立式轮廓形貌测量仪产品应用：
CT350T主要用于测量基板，晶圆，工业零件等产品的绝对厚度及TTV。测量精度不受样品材料或表面特性的影响，同时也对样品厚度也没有任何要求，从小至几微米厚度的样品到几厘米厚的样品都可以轻松测量。应用包括：
任何规格材料的半导体晶圆玻璃晶圆等
工业零部件
燃料电池元件
医疗器件
特种薄膜材料等
该产品软件特点：
cyberTECHNOLOGIES有的软件系统SCAN SUITE将系统控制、数据收集和数据分析集成于一体，有庞大的数据分析功能可进行数据补偿，形状去除(平面，球形，不规则形状，噪点等),滤波分析，剪裁，提取轮廓，特征识别等。用户可生成分析模版保持分析的连续性和一致性。
进阶版自动化分析软件ASCAN可提供：
测量过程全自动化
模块化程序构建
内置偏移量和对位校正
内置SPC图表与报告功能
用户自定义的数据输出格式
支持条形码或用户字段输入
重复性测量定义
该产品硬件特点：
快速、准确的双扫描系统
4KHz(14 kHz可选)采样频率
多传感器装配
2D截面和3D形貌及3D总厚度测量
双通道气浮隔振系统，双重防撞保护措施
高分辨率白光共焦传感器
白光共焦传感器分辨率最小可达3nm,测量范围最大可达25mm
高分辨率离轴摄像机及分立式组合光源
支持SMEMA接口标准以及SECS/GEM通讯协议
该产品系统组成：
XYZ高精密直线电机运动平台
双共焦传感器(类型依项目需求而定， 参数见传感器规格)
大理石平台与气浮双重隔振系统
ESD安全防护外罩
操纵杆控制
工业级PC工控机
预安装Windows系统及SCAN SUITE软件
宽屏显示器，键盘，鼠标，参考手册
该产品技术规格：
| 尺寸及重量 | 2010×1200×1425 mm,650kg |
| 传感器 | 白光共焦传感器；WLI及CFM显微镜；红外传感器 |
| cmos像素 | cyberMACROI:5MP; cyberMACRO Il:14MP |
| 照明光源 | 同轴+环形+侧边 |
| 电动操作杆 | 摇杆控制器(选配) |
| XY轴定位分辨率 | 50nm |
| XY轴扫描行程 | 350 mm×350 mm |
| 电动z轴 | 行程100mm,分辨率50nm |
| 工控机 | 最新款INTEL处理器；Windows10Pro操作系统；宽屏显示器 |
| 电源要求 | 100-240VAC,50-60 Hz |
| 工作环境 | 温度20°-30°C;湿度20-80% |
| 载物台表面尺寸 | 500×500 mm |
| 样品最大重量 | 10 kg |
上海市徐汇区虹梅路2007号6号楼3楼
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