| 品牌 | 昊量光电 | 产地类别 | 进口 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 电子/电池,综合 | 扫描行程 | 200 mm x 200 mm |
| Z轴行程 | 100mm | XY分辨率 | 50nm |
| Z轴分辨率 | 3nm | 传感器 | 白光共焦传感器 |
| 设备尺寸 | 760 x 530 x 475mm |
昊量+星朗小型桌面式表面轮廓量测设备
cyberSCAN VANTAGE 2是一款三维表面轮廓测量系统。通过结合高分辨率的共焦传感技术及高精度XY位移平台，该系统可以用x-，y-，z-的最高分辨率扫描200 ×200mm的区域。所有系统组件集成一体，不需要外部控制器，系统仅通过一根USB线和一根网线连接到控制PC。通过ScanSuite软件系统实现复杂表面分析和自动化测量。
其一体化设计、洁净室兼容性与全自动化能力，使其成为半导体、光伏、光学涂层、MEMS 等领域从研发到量产的核心精密检测设备。
昊量+星朗小型桌面式表面轮廓量测设备产品应用：
cyberSCAN VANTAGE 2结构简单，用途丰富。主要应用于印刷电路的分析和质量 控制，如陶瓷或其他材料基底的线路板膜 厚测量；太阳能电池导线体积，厚度测量； 环氧树脂膜厚等测量。同时还可以适用于 高轮廓物体(如焊球、MEMS传感器 )的几 何参数特征，位置测量，以及平面度，粗 糙度，共面性分析等其他应用。
印刷电路、系统或器件
封装芯片激光打标深度
封装芯片激光打标深度
透明材料或涂层
八寸晶圆厚度
翘曲度Warp/Bow
该产品软件特点：
cyberTECHNOLOGIES的软件系统 SCAN SUITE将系统控制、数据收集和数据 分析集成于一体，有庞大的数据分析功能可 进行数据补偿，形状去除（平面，球形，不 规则形状，噪点等），滤波分析，剪裁，提 取轮廓，特征识别等。用户可生成分析模版 保持分析的连续性和一致性。 进阶版自动化分析软件ASCAN可提供：
测量过程全自动化
模块化程序构建
内置偏移量和对位校正
内置 SPC图表与报告功能
用户自定义的数据输出格式
支持条形码或用户字段输入
重复性测量定义
该产品硬件特点：
直线电机高精度高速率扫描，分辨率达 50nm
白光共焦传感器分辨率最小可达3 nm， 测量范围最大可达25 mm， 测量速率：4 kHz
高分辨率离轴摄像机及分立式组合光源
该产品系统组成：
高精度XY定位平台，直线电机驱动
高精度共焦传感器，可升级至双量测头
高清晰定位相机与四通道独立控制的照 明模组
预安装Windows操作系统及ScanSuite 软件许可证
该产品技术规格：
| 尺寸及重量 | 760 x 530 x 475mm，80kg |
| 传感器 | 白点光源白光共焦传感器 |
| cmos像素 | cyberMACRO I: 5MP; cyberMACRO II: 14MP |
| 照明光源 | 同轴+环形+侧边 |
| 电动操作杆 | 摇杆控制器（选配） |
| XY轴定位分辨率 | 50nm |
| XY轴扫描行程（电动） | 200 mm x 200 mm |
| 电动z轴 | 行程100mm，分辨率50nm |
| 工控机 | 最新款INTEL处理器; Windows10Pro操作系统; 宽屏显示器 |
| 电源要求 | 100-240V AC, 50-60 Hz, 2 amps (240 V), 5 amps (100 V) |
| 工作环境 | 温度20° - 30°C; 湿度20 - 80%; 海拔 < 2000 米 |
| 载物台表面尺寸 | 305 x 305 mm |
| 样品最大重量 | 6-8 kg |
上海市徐汇区虹梅路2007号6号楼3楼
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