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M-cat磁场均匀性检测系统

简要描述:昊量光电新推出M-cat磁场均匀性检测系统,可以快速精准的对溅射系统磁控管和磁棒的测量质量精准控制。旋转磁控管和可调磁棒可以在浮法玻璃镀膜的溅射过程中进行精确测量和分析及可靠地识别有缺陷的磁控管和磁棒。可以提高层厚的均匀性并且可以避免溅射。

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  • 更新时间:2023-01-18
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M-cat磁场均匀性检测系统


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昊量光电新推出M-cat 磁场均匀性检测系统,可以快速精准的对溅射系统磁控管磁棒的测量质量精准控制。旋转磁控管和可调磁棒可以在浮法玻璃镀膜的溅射过程中进行精确测量和分析及可靠地识别有缺陷的磁控管和磁棒。可以提高层厚的均匀性并且可以避免溅射。


M-cat 磁场均匀性检测系统主要介绍

玻璃或硅上溅射需要高质量标准。即使沉积层厚度的微小波动也会显着影响层的特性。用于窗户和立面结构的浮法玻璃在颜色和透射特性方面可能会发生某些变化。作为太阳能电池生产基础的玻璃涂层厚度的变化会导致电性能的不对称。

溅射气体的分压或磁场可以改变层的特性。由于气体成分的变化同样会影响层的成分,因此对于层厚度的调整,仅可以应用磁场的控制和修改。

M-cat 磁场均匀性检测系统以高精度表征管状磁控管,使操作员能够控制溅射装置中的磁性元件。除了对磁体配置进行精确测量和分析外,M-cat磁场均匀性检测系统还为可调节磁控管提供帮助,为确保高可靠性,确定了磁控管的几何形状(偏转)。


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使用M-cat 磁场均匀性检测系统可以增加

  • 过程可靠性,因为可以对新磁控管进行进货检验,并且可以更早、更可靠地检测到有缺陷的磁控管。

  • 层厚度的均匀性,因为可以以可控方式设置可调磁控管,或者可以更容易地组合合适的磁控管。

  • 靶材的使用寿命,因为可以避免成本密集型靶材的溅射。


M-cat 磁场均匀性检测系统突出亮点:

  • 获取完整的磁场轮廓

  • 可提供用于圆形阴极和扁平阴极磁控管的系统

  • 可以在现有的制造过程中实施该系统

  • 可微调磁控管微调辅助功能

  • 高可用性


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MHLS-线性霍尔传感器主要技术指标:

  • 在 1 分钟内完成测量

  • 场过程的图形表示

  • 检测蕞小和蕞大磁场强度

  • 以 CSV 格式存储和导出单个测量系列的功能

  • 可以记录目标参数(直径、偏转)

  • 微调可微调磁控管的辅助功能

  •  长度为 0.4 - 4.0m

  •  磁场配置:33 个通道(X、Y、Z)+/- 1%

  • 磁控管的几何形状(磁性功能部件的位置):+/- 0.1mm

  • 目标的几何形状(直径、偏转):+/- 0.1mm

  •  具有生命周期管理、各种视图和设置选项的软件



更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电

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