<DMD无掩膜光刻机SMART PRINT UV-上海昊量光电设备有限公司
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DMD无掩膜光刻机

简要描述:DMD无掩膜光刻机SMART PRINT UV是一种基于DMD投影技术的无掩模光刻设备,可兼容多种电阻和基片。SMART PRINT UV可以生产任何微米分辨率的二维形状,而不需要硬掩模。

  • 产品型号:SMART PRINT UV
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2021-06-23
  • 访  问  量:104
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品牌其他品牌产地类别进口
应用领域电子主要特性兼容i、h、g线光刻胶

DMD无掩膜光刻机

DMD无掩膜光刻机SMART PRINT UV是一种基于DMD投影技术的无掩模光刻设备,可兼容多种电阻和基片。SMART PRINT UV可以生产任何微米分辨率的二维形状,而不需要硬掩模。基于改进后的标准投影技术,投影出具有微米分辨率的图像,无掩膜光刻机SmartPrint无需任何进一步步骤,就能直接从数字掩模光刻出您要的图。无掩膜光刻机SmartPrint主要应用是微流体,生物技术和微电子等领域光刻表面微纳图案。

 

DMD无掩膜光刻机主要特性:

兼容i、h、g线光刻胶

SmartPrint-UV配备了385 nm LED源,以兼容标准i, h和g线光刻胶,如SU8或AZ®1500系列

 

适用于各种各样的基材

我们的物镜范围经过精心选择,具有较长的工作距离(高达3厘米),使SP-UV成为一种非接触式技术,因此兼容非标准基材(非平的,灵活的,厚的)。

 

可调直写范围和分辨率——用户可获得四种不同的直写分辨率      

 优直写分辨率1.5um                                                                     

                                     

 

兼容任何尺寸的样品,最大5平方英寸                                         

对齐方式直观——反馈相机与第二束590nm准直光源叠加使用

                       

 

体积小,性价比高

 

DMD无掩膜光刻机应用领域:

               

 光器件         微流控         微电子

 

DMD无掩膜光刻机指标参数:

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