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纳米表面轮廓仪

简要描述:IMOS纳米表面轮廓仪实现了精确、定量、iso兼容、非接触式表面测量和表征微和纳米尺度的表面特征,在短短几秒钟内可捕获多达200万个数据点。选择正确的光学轮廓仪系统取决于您的应用程序的要求,包括速度、精度、垂直范围、自动化和灵活性。

  • 产品型号:IMOS
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2021-06-21
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应用领域电子纳米模式下的Z轴分辨率30pm微起伏模式(使用原子级光滑镜)

纳米表面轮廓仪

IMOS纳米表面轮廓仪实现了精确、定量、iso兼容、非接触式表面测量和表征微和纳米尺度的表面特征,在短短几秒钟内可捕获多达200万个数据点。选择正确的光学轮廓仪系统取决于您的应用程序的要求,包括速度、精度、垂直范围、自动化和灵活性。

IMOS光学表面轮廓仪在非接触式光学表面轮廓方面提供了强大的通用性。有了该系统,它可以方便快捷地测量各种表面类型,包括光滑、粗糙、平坦、倾斜和阶梯。所有的测量都是无损的,快速的,不需要特殊的样品准备。纳米表面轮廓仪系统的核心是部分相干光干涉技术,它提供亚纳米精度测量更广泛的表面比其他商业可用技术。

 

IMOS 纳米表面轮廓仪提供了不同的应用程序的特殊价值,如平直,粗糙度,波浪形,台阶高度等等。
IMOS 纳米表面轮廓仪配备了一个变焦头,可以填充离散变焦光学定制的系统。样本分段配置范围从完全自动化到完全自动化的编码行程。

IMOS 纳米表面轮廓仪提供高精度测量,易于使用,快速测量,有吸引力的价格,使其成为多功能3D光学轮廓仪的理想选择。

 

纳米表面轮廓仪主要优点:

- 纳米模式下的Z轴分辨率:

       ~ 30pm微起伏模式(使用原子级光滑镜)

             ~ 0.3um微地貌模式下

- 外形紧凑;

- 快速响应;

- 抗外部振动;

- 测量过程自动化程度高;

- 特殊的用户友好的界面;

- 高质量的图形界面,以工作与多计划三维表示的测量结果;

- 广泛的可能性配置的显微镜,以各种形态-逻辑的测量表面;

- 能够工作在两种模式:微浮雕和纳米浮雕;

- 独特的存储系统和测量结果的系统化。

 

在硅基板上的Pd薄膜,高度100nm硅晶体表面的阶地,高度为0.314nm在硅基板上的Pd薄膜,高度100nm

 

微起伏模式下的测量结果

硅晶体表面的阶地,高度为0.314nm   
认证口径,标称高度值为101nm±3%

 

IMOS纳米表面轮廓仪组成 
光电探测器*
矩形ccd-1392*1040 px

光源 * 
LED (λeff = 630 nm)

显微物镜*
20x (or 10x, 5x) 2 items
放大率不变

压电扫描振镜

位移台

1d (Z) range 50 mm 
2d (XY) range 75x50 mm

控制器
CCD-相机抓帧器
位移台控制器
设备控制器 

计算机 

软件
Software for working with IMOS
System / MS Windows

* – 按客户需求 

 

 

微地貌模式下的测量结果
认证口径, 厚 40 ± 1,2 μm   
衍射元件, 厚 3,7 μm
技术指标     
测量区域 
0,4x0,3 mm2 (for 20X) 
 
像素尺寸 
0,3 μm (for 20X) 
 
横向分辨率
Not worse 1 μm 
 
测量模式 
微地貌模式
微起伏模式 
 
Z轴分辨率
微地貌模式 ~ 0,3 μm
微起伏模式 ~ 30 pm (with atomically smoth mirror) 
 
测量范围 
微地貌模式 up to 50 mm
微起伏模式 up to 20 μm 
 
测量速度 
微地貌模式 ~ 4 μm/s
微起伏模式 ~ 20 μm/10s 
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