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多波长椭偏仪(仅需25万!)

简要描述:AUTFS1椭偏仪是利用椭圆偏振的方法对样品进行光学表征。在该系统中由偏振态发生器(PSG)发射已知偏振态的光斜入射到样品上,然后偏振态检测器(PSD)检测反射光的偏振状态。多波长椭偏仪(仅需25万!)

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  • 更新时间:2019-09-12
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多波长椭偏仪(仅需25万!)

AUTFS1椭偏仪是利用椭圆偏振的方法对样品进行光学表征。在该系统中由偏振态发生器(PSG)发射已知偏振态的光斜入射到样品上,然后偏振态检测器(PSD)检测反射光的偏振状态。如下图所示

由样品引起的发射光偏振态的变化可以由P偏振光和S偏振光的反射率的比值决定。比值为复数,如下图所示: 其中tan(Y)定义了P偏振光和S偏振光反射率比值的大小,D定义了P偏振光和S偏振光的相位差。

由于该方法测量的是一个比值,因此对光的强度的变化,以及样品缺陷造成的散射不敏感,并且在每个波长测量两个参量可获得两个常量例如:薄膜厚度和折射率,此外D对薄膜厚度非常敏感,可以使薄膜厚度测量精度到0埃。

 

上海昊量光电推出的多波长椭偏仪采用长寿命的LED光源,可分别提供465nm、525nm、580nm和635nm四种不同波长,并使用无移动部件的椭圆偏振检测器,紧凑的系统提供快速可靠的薄膜测量。

通过1秒的测量可以精确的测量0-1000nm的大多数透明薄膜的厚度。并可以获得n和k等光学常量。

相比于单波长椭偏仪,多波长椭偏仪可测定薄膜厚度,对于透明薄膜测量厚度至少可达1μm,不存在厚度周期性问题;可确定样品其它其它参数特性例如薄膜粗糙度、多层膜厚度等;对数据分析提供检测依据,一个良好的分析模型应该适用于不同波长的数据;对于非常薄的薄膜(<20nm)多波长椭偏仪提供的数据信息量可以与光谱椭偏仪相媲美。

应用案例:

原位测量:

                          AUTFS-1 Mounted on Kurt Lesker ALD Chamber                                                              AUT FS-1 Mounted on AJA Sputter Chamber

 

选配件:

1聚焦选项:将样品上的光束缩小至0.8 x 1.9 mm 或0.3 x 0.7 mm

2、聚焦束检验选项

    3、自动成像系统

产品特点:

  •  多波长

  • 椭偏检测器中无移动部件

  • 优异的测量精度(优于0.001nm)

  • 可原位测量

     

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