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高低温真空探针台

简要描述:5VC真空探针台可实现高真空环境下的高温及低温电学性能测量,真空腔一体成型,具有设计合理,真空度稳定,温控精度及机械精度高等特点;根据测试温度范围不同,可单选高温或低温等相应组件,温度可达到1000℃,低温部分采用液氮或液氦冷却组件,温度可低至77K/10K,;真空系统可选机械泵或分子泵系统,真空度可达到10-3Torr或10-6Tor。高低温真空探针台

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  • 更新时间:2019-06-14
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高低温真空探针台

高低温真空探针台概述

M5VC真空探针台可实现高真空环境下的高温及低温电学性能测量,真空腔一体成型,具有设计合理,真空度稳定,温控精度及机械精度高等特点;根据测试温度范围不同,可单选高温或低温等相应组件,温度可达到1000℃,低温部分采用液氮或液氦冷却组件,温度可低至77K/10K,;真空系统可选机械泵或分子泵系统,真空度可达到10-3Torr或10-6Tor。

应用

可应用于低温或高温真空环境下被测样品的电学性能测试分析,如:半导体/微电子,电子,机电,物理,化学,材料,光电,纳米,微机电/MEMS,生物芯片,航空航天等科学研究领域,以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。

技术参数

显微镜配置               显微镜/视频显微镜

显微镜                      放大倍数50倍

视频成像配置            CCD成像系统,放大倍数300倍

样品台尺寸80mm     漏电电流<10fA

真空室真空度            10-3Torr (10-6Torr或更高可选)

探针座配置               x/y/z行程40mm 精度 1μm

探针配置                  尺寸 0.5X30mm 材质 金

温度范围                  77K-570K  液氮制冷 10K-570K  液氦制冷     温度可到1000K

观察窗尺寸              100mm

真空系统                  机械泵或分子泵

接口配置                  三同轴

测试源表                  连接各类测试源表,并可进行相应的软件二次开发,加大系统整合性及测试稳定性

 

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