H9/H9M 白光干涉表面轮廓仪-上海昊量光电设备有限公司

品牌	昊量光电	产地类别	进口
应用领域	综合

H9/H9M 白光干涉表面轮廓仪

Heliotis H9/H9M 均为工业级白光干涉（WLI）3D 表面轮廓仪，基于低相干宽带光在零光程差附近形成高对比度条纹，通过 Z 轴扫描与像素级相干峰 / 相位解包裹重构 3D 形貌，实现非接触、纳米级精度测量。H9/H9M 白光干涉表面轮廓仪

HeliInspect™ H9 结合了大型测量场和高高度分辨率。其坚固设计、长工作距离和灵活的软件集成使其成为大型组件串联测试的理想解决方案，涵盖在线、在线和离线。

对于那些常规传感器已无法满足需求的应用场景，heliInspect™ H9 和 H9M 能凭借的亚微米级高度分辨率脱颖而出。这些属于行业标准级别的白光干涉仪之所以，是因为它们采用了 Heliotis 的下一代 3D 像素传感器 heliSens™ S4 和 S4M。

白光干涉仪H9/H9M应用场景：

白光干涉仪H9/H9M产品特点：

测量能力得到提升：

集成操作就像使用二维摄像机一样简单：

白光干涉仪H9/H9M技术特性与优势：

型号定位与核心差异：

多种视野范围，两种工作间距：

灵活的镜头选择功能使得能够根据不同的部件尺寸和需求进行调整。

	0.5×	0.8×	1×	1.5×	2×	3×
Field of view [mm × mm]	24.6 × 26.1	15.4 × 16.3	12.3 × 13.1	8.2 × 8.7	6.1 × 6.5	0.26 × 0.2
Optical resolution [µm] – H9	48	30	24	16	12	8
Optical resolution [µm] – H9M	24	15	12	18	6	4（*）
Working distance [mm] – Standard	51	51	51	51	49	49
Working distance [mm] – Long	113	113	113		110
Numerical aperture – Standard	0.033	0.053	0.067	0.10	0.13	0.15
Numerical aperture – Long	0.033	0.053	0.067		0.11

白光干涉仪H9/H9M产品参数：

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H9/H9M 白光干涉表面轮廓仪