193nmDUV深紫外单纵模固体激光器-上海昊量光电设备有限公司

193nmDUV深紫外单纵模固体激光器

简要描述：193nmDUV深紫外单纵模固体激光器，光谱带宽接近其理论傅立叶极限。该193nm激光器的中心波长可在185和194 nm之间的范围内定制，订购时可配置为固定波长。

产品型号：

厂商性质：代理商

更新时间：2025-11-18

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品牌	昊量光电	产地类别	国产
应用领域	综合

德国xiton photonics公司是二极管泵浦固体激光器和非线性光学器件的专家。可以开发和制造几乎任何所需波长的可靠激光系统，重点开发193nm的DUV深紫外固体激光器，总部位于德国，拥有20多年的激光器研发经验。

193nmDUV深紫外单纵模固体激光器：

IXION 193 SLM是一款单频全固态激光系统，适用于光学计量、193纳米光学系统校准或高功率ArF准分子激光器带宽控制等应用。光谱带宽接近其理论傅立叶极限。该193nm激光器的中心波长可在185和194 nm之间的范围内定制，订购时可配置为固定波长。

193nmDUV深紫外单纵模固体激光器参数：

Wavelength/波长	193.368 nm
Average power/平均功率	10 mW
Pulse duration/脉宽	typ 8-12 ns
Energy per pulse/单脉冲能量	1.6 µJ
Repetition rate/重复频率	1-15 kHz
beam quality/光斑质量	M² < 1.6
Spectral bandwith/谱宽	< 80 MHz
Spectral tunability/光谱可调谐范围	> 10 pm
coherence length/相干长度	> 2 m
Pulse to pulse stab./脉冲稳定性	σ < 2.5 %