| 品牌 | 昊量光电 | 产地类别 | 进口 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 综合 |
TopMap Metro.Lab 白光干涉仪（3D形貌仪）
Polytec旗下的 TopMap Metro.Lab，是一款的高精度白光干涉仪（相干扫描干涉仪），TopMap Metro.Lab 白光干涉仪（3D形貌仪）的大垂直测量范围与纳米级分辨率脱
颖而出。这一特性，使得 Metro.Lab 形貌测量系统在针对大面积表面及结构的平面度、台阶高度和平行度进行非接触式测量时表现，哪怕面对柔软娇贵、极易受损的材料，
也能精准探测，毫无压力。
作为一套完备的测量站设备，一旦您有测量各类表面大面积形貌的需求，TopMap Metro.Lab 无疑是。它拥有高达 70 mm的大垂直测量范围，即便是在极为严苛、复杂的测
量条件下，也能稳定达成亚nm 级分辨率的测量，精准度令人赞叹。
TopMap Metro.Lab 白光干涉仪的优势：
37x28mm大单像场(扩展尺寸 87 x 78 毫米）
70mm灵活、较大的 Z 范围
2.83nm高垂直分辨率
48个月免费保修 + 软件终身更新
TopMap Metro.Lab 白光干涉仪的亮点：
● 采用光学干涉原理，非接触式测量
● 远心镜头具备性能，即便对于位置低洼的点位，也能精准测量
● Z向测量范围达 70 mm，非常灵活
● 即使是较大被测面，亦能快速测量
● 增强版本的测量视场大幅提升，可达约 80×80 mm2
● 软件操作简便且支持自动化运行，可生成符合 DIN/ISO 标准的参数
● 凭借智能表面扫描技术，几乎能够应对任何表面，精准检测反射率差异极大的表面
● 可集成于防尘、减震的工作站中，以便在车间使用
● 4 年免费保修和终身软件更新
规模小、预算少
TopMap Metro.Lab 性价比高，无论是在计量实验室，还是在紧邻生产线的场所，于各类工作场景下都具吸引力。相较于传统的接触式测量方法，它能够开展更为全面深入的表面分析。同所有 TopMap 系统一样，其开放式软件架构赋予用户强大的自主性，您不仅能够针对常规任务编写程序，还能定制专属的用户界面 。
规格表
| 技术参数 | |
| 则试台尺寸 | 87×78x70 mm =0.00048 m³ |
| 单次测试至多测点 | X:1284,Y:966,X·Y:1240344 |
| 至多测点 | X:2969,Y:2662,X·Y:7903478 |
| 光学参数 | |
| 则试范围 | X:37 mm,Y:28 mm,X·Y:1036 mm² |
| 工作距离 | 2.5(-2.5/+5)mm |
| 垂直测试范围 | 70 mm |
| 则点间距 | X:29.3μm Y:29.3μm |
| 黄向光学分辨率计算值 | 21.4 μm |
| 横向范围可扩展至 | 87 mm x 78 mm |
| 数据简化后，横向测试范围可扩展至 | 87 mm x78 mm |
| 垂直范围可扩展至 | 不可扩展 |
| 性能特征 | |
| 测量噪声 | 1 nm(相位估算) |
| 垂直分辨率 | 2.83 nm(相位估算) |
| 通用参数 | |
| 尺寸[L×W×H] | 580 mmx340 mm x 372 mm |
| 重量 | 约27 kg |
| 功耗 | 100 ...240 VAC±10 %,50/60 Hz;至大40 W |
| 环境温度范围 | 20±3℃ |
| 工作/存储温度范围 | +5℃...+35℃1-10℃...+65℃ |
| 相对湿度 | 至大80%,无冷凝 |
| 光生物安全 | IEC/EN 62471:2009-03 |
| 电气安全 | IEC/EN 61010-1:2011-07;EMV:IEC/EN61326:2006-10 |
| 供货清单 | 干涉仪、控制器、工控机、连接电缆、1个滤光片、TMS软件及软件狗 |
| 其它参数 | |
| 工作原理 | 扫描式白光干涉法(迈克尔逊) |
| 光学部件 | 远心镜头；光源：长寿命LED,波长525 nm |
| 形貌格式： | SUR,ASCII数据格式输出格式：qs-STAT,PDF,BMP,PNG,TIFF,GIF |
| 应用参数 | |
| 典型的平面度测量(单一视场扫描测试)¹ | |
| 平面度偏差 | 光滑表面²:<100 nm,粗糙表面³<375 nm |
| 可重复性5 | 光滑表面²:<20 nm,粗糙表面³<50 nm |
| 典型台阶高度测试4 | |
| 名义台阶高度 | 50 μm 450 μm 1000 μm 2000 μm 5000 μm |
| 可重复性56 | 0.30 μm 0.25μm 0.30 μm 0.25μm 0.25μm |
| 台阶高度测量至大偏差6 | 3.53μm 7.30 μm 5.53 μm 5.07 μm 6.18μm |
1. 由试验数据取整，以及几台TMS-150 TopMap Metro.Lab测量不同高度的样品的平面度的统计值。在平面镜上测量(使用至大视场的95%)。
2. 相关曲线相位估计
3. 相关曲线包络线估计
4. 试验测定的典型结果，该测量是在校准过的PTB标准深度模型，A1型(ISO 5436-1)上进行的
5. 在可重复条件下的一系列测量值的变化，几台同型号设备的测试数据的平均值
6. 可重复条件下测量21次
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