SIOS双光束激光干涉仪SP 5000 DS-上海昊量光电设备有限公司

品牌	昊量光电	产地类别	进口
应用领域	综合

SIOS双光束激光干涉仪SP 5000 DS

SIOS双光束激光干涉仪SP 5000 DS用于需要同时获取运动角度和长度信息的测量任务。该干涉仪的测量原理基于 SP 5000 NG 测量设备。

两个测量激光束使用同一频率的共用激光器的光。两个测量光束之间的间距经过高精度校准。测量光束之间的平行度至关重要。

如果两个光束使用同一个反射器，通过形成差值，可在运动中高精度地测量和计算角度。如果两个光束独立运行，则可进行差分测量。

对于差分测量的长期稳定性有特别高要求的情况，我们推荐使用 SP 5000 DI 系列干涉仪。

需要同时获取另一个角度的测量任务，可使用三光束 SP 5000 TR 干涉仪来完成。

双光束激光干涉仪可同时进行精确的长度和角度测量

·高精度的灵活长度测量系统

·角度检测精度高

·易于调整和操作

·可使用多种光学反射器，例如球面反射器、平面镜反射器

·测量反射器允许倾斜角度高达±12.5°

·紧凑型结构

·传感器头有铝、不锈钢或因瓦合金材质可供选择

·光束间距：标准12毫米，其他规格可定制

·可提供OEM版本、OEM软件和真空版本

·丰富的触发选项

SIOS双光束激光干涉仪的规格表

System parameter	SP 5000 DS
Measuring range	0 m to ≥ 5 m
Resolution	20 pm*
Angular measuring ranges with reflector with plane mirror (recommended distance ≤2 m)	±12.5° ** ±430 µrad
Angular resolution (at 0.1 nm length resolution)	0,01 µrad***
Beam distances (horizontal and vertical)	12 mm
Wavelength	632.8 nm
frequency stability of the HeNe laser(after warm-up time)	2E-8
Warm-up time of the HeNe laser	10...20 min
Operating temperature range	15...30°C
Max. dISPlacement speed of measuring reflector	3 m/s
Geometric Data
Dimensions (L x W x H): Sensor head with adjustable mount Electronic evaluation and supply unit EU	[199 x 134 x 68] mm [450 x 400 x 150] mm
Mass: Sensor head with adjustable mount Electronic evaluation and supply unit EU	1.6 kg ca. 8 kg
Elektronische Daten
Interfaces standard other interfaces on request (/R)	RS232C, USB
Cable length between sensor head and electronics unit	3 m, optionally up to 10 m
Power supply	100...240 VAC / 47...63 Hz
Laser safety class according to EN 60825-1:2014 and ANSI Z136.1 (CDRH)	2M II
in frequency domain rotary point dependent **least significant bit (LBS)

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关于昊量光电：

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SIOS双光束激光干涉仪SP 5000 DS