<多波长动态干涉仪-上海昊量光电设备有限公司
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多波长动态干涉仪

简要描述:Kaleo MultiWAVE多波长动态干涉仪同时可提供媲美Fizeau干涉仪测量精度,及动态干涉仪的抗震性能。

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  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2021-12-20
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详细介绍
品牌其他品牌产地类别进口
应用领域电子多波长动态干涉仪纳米级相位分辨率

Kaleo MultiWAVE多波长动态干涉仪

【KALEO MultiWAVE 简介

Phasics在光学计量领域持续创新,推出能够兼顾测量透射波前误差反射波前误差(TWE / RWE)的革命性新产品:Kaleo MultiWAVE动态干涉仪。 直径高至5.1英寸(130毫米)的镀膜和未镀膜的光学器件可在其工作波长下直接进行测量。 Kaleo MultiWAVE是购买多台干涉仪或特殊波长干涉仪的有效替代方案,拥有*性价比。 该系统同时可提供媲美Fizeau干涉仪测量精度,及动态干涉仪的抗震性能。


【关于Phasics】

Phasics是一家专注于高分辨率波前传感技术的法国公司。Phasics公司凭借其在测量方面的专业经验与*的波前测量技术为客户提供全面的高性能波前传感器。


一、 Kaleo MultiWAVE多波长动态干涉仪主要特点

  • 紫外、可见光、近红外、短波红外、中远红外等任意多波长定制

  • 单台干涉仪可集成多个工作波长

  • 纳米级相位分辨率

  • 超高动态范围 (>500 条纹数)


二、KALEO MultiWAVE

  • 光学元件及光学系统计量


三、KALEO MultiWAVE 测量案例

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四、KALEO MultiWAVE 指标参数(1)

RMS重复性 (2)< 0.7 nm (< λ / 900)
测量精度80 nm PV (3)
动态范围(离焦值)500 fringes (SFE = 150 μm)
可测反射率范围4% - 100%

(1) 四英寸口径,使用625 nm光源

(2) 在4英寸参考镜上执行36次连续测量,每一次测量使用均化值为16次。 参考定义为所有奇数测量的平均值。 RMS重复性定义为RMS平均差值,加上偶数测量值与参考之间差值的标准偏差的2倍。

(3) 1 µm PV 离焦像差下

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