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纳米平移台(压电马达型,10-1500mm行程)

简要描述:XLS系列线性位移平台,是由超声波压电马达驱动,可提供不同行程的精确定位。由于采用超声波压电马达驱动,速度可达到200mm/s,并且该平台非常适用于扫描,可提供恒定的扫描速度,速度不稳定性低于2%。纳米平移台(压电马达型,10-1500mm行程)

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  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2020-04-13
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纳米平移台(压电马达型,10-1500mm行程)

XLS系列线性位移平台,是由超声波压电马达驱动,可提供不同行程的精确定位。由于采用超声波压电马达驱动,速度可达到200mm/s,并且该平台非常适用于扫描,可提供恒定的扫描速度,速度不稳定性低于2%。

该平台采用超声波马达,对于这种马达平台的运动是通过接触点的椭圆振荡产生。如下图所示。通过椭圆的振荡推动平台产生微小移动,并通过高频率产生极高的速度,并且没有噪声,电机在定位后可产生自锁,由于马达在椭圆振荡的上端才会与平台接触,大大提高平台的使用寿命通常在10-100km。

XLS系列平台可提供不同的行程,行程范围可达到100mm。为了适应不同精度要求的应用,平台集成不同精度的位置传感器,目前可提供的位置传感器有1.25μm;330nm;78nm和1nm具体参数如下图所示:

此外根据不同应用可以选择不同行程的平台,可提供平台行程参数如下:

此外,由于该平台采用模块化设计,可以组成多维位移平台,例如:XY;XYZ,XYQ等。并且可以提供真空兼容和非磁位移平台。

主要特点:

l  大行程 (100mm)

l  高精度(25nm)

l  高速度(100mm/s)

l  支持断电自锁

l  可在真空和非磁环境

主要应用:

l  光电子学

l  扫描电子显微镜

l  半导体生产

l  医学和材料科学

l  生命科学与生物技术学

l  显微镜和计量学

纳米平移台(压电马达型,10-1500mm行程)

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