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产地类别 | 国产 |
高分辨率波前分析仪/波前传感器/波前相差仪
400X300高分辨率、500um高动态范围、高性价比、同时检测波前与M^2波前传感器!
关键词:波前传感器、波前分析仪、波前像差仪、传感器、波前测试仪、波前探测器、激光波前分析仪、哈特曼波前分析仪、虹膜定位、哈特曼波前传感器、波前象差、高分辨率波前分析仪、波前测量仪、激光光束及波前分析仪、夏克 哈特曼、镜头MTF
公司自主研发的波前传感器是基于四波横向剪切干涉技术。SID4系列波前分析仪相较传统的夏克-哈特曼波前探测器具有高分辨率、消色差、高灵敏度、高动态检测范围、操作简便等*的优势。为波前像差、波前畸变的检测以及激光光束及波前的测量、分析,眼科虹膜定位波前像差引导等提供了全新的解决方案!波前探测器配套的软件界面友好,可直观的输出高分辨率相位图和光束强度分布图。
高分辨率波前分析仪/波前传感器/波前相差仪
波前传感器生产厂家具有雄厚的技术研发实力,能为客户提供的各种自适应光学系统OA-SYS(Adaptive Optics Loops),制定个性化解决方案。可根据客户的应用需求,为客户推荐zui合适的SID4波前传感器、可变形镜或空间光调制器、自适应光学系统操作软件等。
图1 波前校正前与校正后对比
波前探测器依据其四波横向剪切干涉技术,对哈特曼掩模技术进行了大的升级、改进。波前传感器将400X300的超高分辨率和500um的超大动态范围*结合在了一起。可以满足不同的客户的应用需求,可对激光光束进行光强、位相、PSF(点扩散函数)、MTF(调制传递函数)、OTF(光学传递函数)、波前像差、M^2等进行实时、简便、快速的测量。
*部 产品介绍
SID4 UV-HR高分辨紫外波前传感器
公司将 SID4的波前测量波长范围扩展到190nm-400nm。SID4 UV-HR是一款适用于紫外波段的高分辨率波前传感器,非常适用于光学元件测量(例如印刷、半导体等等)和表面检测(半导体晶片检测等)。
特点:
u 高分辨率(250x250)
u 通光孔径大(8.0mmx8.0mm)
u 覆盖紫外光谱
u 灵敏度高(0.5um)
u 优化信噪比
图2 SID4-UV波前分析仪
SID4 波前传感器
可用于400nm-1000nm 的激光的波前位相、强度分布,波前像差,激光的M2,泽尼克参数等进行实时的测量及参数输出。
特点:
Ø 波长范围:400-1100nm
Ø 分辨率高(160x120)
Ø 消色差
Ø 测量稳定性高
Ø 对震动不敏感
Ø 操作简单
Ø 结构紧凑,体积小
Ø 可用笔记本电脑控制
图3 SID4位相检测
可用于检测各种透镜,光学系统的检测,可以对透镜、光学系统的进行实时的PSF(点扩散函数)、MTF(调制传递函数)、OTF(光学传递函数)、波前像差测量及参数输出。相对于传统的透镜检测设备像:传函仪、干涉仪,具有操作简便,测量精度高,参数输出方便等优点,正在被越来越多的客户推崇。
特点:
u 波长范围:400-1100nm
u 高性能的相机,信噪比高
u 实时测量,立即给出整个物体表面的信息(120000个测量点)
u 曝光时间极短,保证动态物体测量
u 操作简单
图4 SID4-HR
图5 SID4-HR传递函数检测
SID4 NIR 波前分析仪
主要针对1550 nm(1.5um-1.6um)激光的检测,具有分辨率高高灵敏度、高动态范围、操作简便等*的优势。可用于光学测量,SID4 NIR是测量红外物体和红外透镜像差、PSF、MTF和焦距及表面质量的理想工具。
特点:
² 高分辨率(160x120)
² 快速测量
² 性价比高
² 测量
² 对振动不敏感
图6 SID4 NIR激光波前检测
SID4 DWIR 波前仪
具有宽波段测量的特点。可以实时的检测3-5um和8-14um的波前位相,强度分布等响应的波前信息。可以很好的满足红外波段客户的波前检测需求。
特点:
u 光学测量:SID4 DWIR是测量红外物体特性(热成像和安全视觉)或红外透镜(CO2激光器)的理想工具,输出结果包括MTF,PSF,像差,表面质量和透镜焦距。
u 光束测量:(CO2激光器,红外OPO激光光源等等)SID4 DWIR提供详尽的光束特性参数:像差,M2,光强分布,光束特性等
u 高分辨率(96x72)
u 可实现测量
u 可覆盖中红外和远红外波段 大数值孔径测量,无需额外中转透镜
u 快速测量 对振动不敏感
u 可实现离轴测量
u 性价比高
图7SID4 DWIR
SID4产品型号参数汇总
型号 | SID4 | SID4-HR | SID4 UV-HR | SID4 NIR | SID4 DWIR | SID4-SWIR |
孔径尺寸(mm2) | 3.6 x4.8 | 8.9 x11.8 | 8.0 x8.0 | 3.6x4.8 | 13.44x10.08 | 9.6x7.68 |
空间分辨率(um) | 29.6 | 29.6 | 32 | 29.6 | 140 | 120 |
测量点数 | 160x120 | 300x400 | 250x250 | 160x120 | 96x72 | 80X64 |
波长范围 | 350-1100 nm | 350-1100 nm | 190-400 nm | 1.5-1.6µm | 3-5µm 8-14µm | 0.9- 1.7µm |
精准度 | 10nm RMS | 10nm RMS | 10nm RMS | >15nm RMS | 75nm RMS | 10nm RMS |
动态范围 | >100µm | >500µm | >200um | >100µm | / | ~100µm |
采样速度 | 60 fps | 10 fps | 30 fps | 60 fps | 50 fps | 60fps |
处理速度 | >10fps | >3 fps | 1fps | <10fps | 20 Hz | >10Hz |
第二部 控制软件
SID4波前分析仪控制软件
SID4波前分析仪控制软件与SID4 波前传感器配套提供的是一款完整的分析软件,其集成了高分辨率的相位图与强度分布图,测量光强分布和波前信息。
借助Labview和C++ 可编程模块数据库(软件二次开发工具包),客户能够根据自身的需要编写各种相位测量与编译模块。
Adaptive Optics Loops将SID4 Wavefront Sensor结合您的应用,选配合适的可变形镜或相位调制器,提供整套的自适应光学系统。减小任何一个光学系统的相差从来都不是简单的,我们的产品能为激光光束和成像系统带来更可靠,高精度的解决方案。
图8 SID4控制界面
SID4光学测量软件Kaleo
基于剪切干涉的波前传感器与专门设计的光学测量软件Kaleo结合,可以测量球面镜和非球面镜的像差及MTF等信息。只需要几秒钟,我们的仪器为您呈现绝大部分的光学参数,如焦距,光腰,MTF,像差,Zernike系数,曲率半径,PSF等。
第三部 与传统哈特曼波前分析仪比较
与传统哈特曼波前传感器测量结果对比:
技术参数对比:
| PHASICS | Shack-Hartmann | 区别 |
技术 | 剪切干涉 | 微透镜阵列 | PHASICS投放市场时,已经申请技术,是对夏克-哈特曼技术的升级 |
重建方式 | 傅里叶变换 | 分区或模式法 | 夏克-哈特曼波前探测器,局域导数以微透镜单元区域的平均值来近似,误差大 |
强度 | 对强度变化不敏感 | 对强度变化灵敏 | PHASICS测量精度高,波前测量不依赖于强度水平 |
校准 | 用针孔校准、方便快捷 | 安装困难,需要精密的调节台 | PHASICS使用方便 |
取样点 | SID4-HR达300X400测量点 | 128X128测量点(多个微透镜) | PHASICS具有更高的分辨率 |
数值孔径 | NA:0.5 | NA:0.1 | PHASICS动态范围更高 |
分辨率 | 29.6μm | 115μm | PHASICS具有更高的空间分辨率 |
测量精度 | 2nm RMS | 5nm RMS | PHASICS更好的测量精度 |
获取频率 | 60fps | 30fps | PHASICS获取速度快 |
处理频率 | >10Hz | 30Hz | PHASICS可满足大部分处理要求 |
消色差 | 无需对每个波长进行校准 | 需要在每个波长处校正 | PHASICS更灵活,可以测试宽波段,而不需要校准 |
第四部 应用领域
Ø 激光、天文、显微、眼科等复杂自适应光学系统波前像差检测
Ø 激光光束性能、波前像差、M^2、强度等的检测
Ø 红外、近红外探测
Ø 平行光管/望远镜系统的检测与装调
Ø 卫星遥感成像、生物成像、热成像领域
Ø 球面、非球面光学元器件检测 (平面, 球面, 透镜)
Ø 虹膜定位像差引导
Ø 大口径高精度光学元器件检测
Ø 激光通信领域
Ø 航空航天领域