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压电马达线性平移台
压电马达线性平移台

U-XLS系列压电马达线性平移台拥有独特的特点。该平移台是一款兼具大行程和高精度的压电马达位移平台。 该平移台采用无声的超声波马达,超声波马达是通过一个耦合元件抵住移动导向转子,在高频电流下压电陶瓷促动器被激发产生超声波振动,促动器的变形使耦合元件相对于转子产生周期性的对角运动,每个循环的进给为几个纳米,高频的信号,可以使转子高速的运动。因此AU-XLS系列压电马达平移台的Z大速度可达到400m

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单轴压电扫描台/纳米平移台
单轴压电扫描台/纳米平移台

单轴压电扫描台/纳米平移台采用压电陶瓷直推驱动,以柔性铰链为运动副,使其结构紧凑、拥有小的体积、无摩擦、无间隙、定位分辨率高等优点。

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超紧凑线性平移台(亚微米)
超紧凑线性平移台(亚微米)

超紧凑线性平移台(亚微米)是集动力系统、反馈系统和控制系统于一身的微机械系统。在紧凑的空间中(29x20x10mm)包含一个世界上Z小的压电马达和IC驱动、非接触式磁感应阵列位置传感器和PID控制器。

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