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单轴压电扫描台/纳米平移台

简要描述:单轴压电扫描台/纳米平移台采用压电陶瓷直推驱动,以柔性铰链为运动副,使其结构紧凑、拥有小的体积、无摩擦、无间隙、定位分辨率高等优点。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2017-12-25
  • 访  问  量:916
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详细介绍

单轴压电扫描台/纳米平移台

AU-NPS-X系列纳米定位工作台采用压电陶瓷直推驱动,以柔性铰链为运动副,使其具有结构紧凑、体积小、无机械摩擦、定位分辨率高等优点。全行程采用电容位移传感器闭环反馈设计,精度可达到亚纳米量级。结合数字闭环控制器,纳米定位工作台的响应时间和稳定时间可达到毫秒量级

 

 

Nanopositioning Stages 亚纳米定位工作台 微定位工作台 微动台 压电精密定位系统,纳米平移台,纳米定位台,纳米扫描台,压电平移台

 

 

单轴压电扫描台/纳米平移台

AU-NPS-X系列纳米定位工作台zui初的设计是为了满足超快速度和超精密的应用。纳米定位工作台采用压电陶瓷直推驱动,以柔性铰链为运动副,使其结构紧凑、拥有小的体积、无摩擦、无间隙、定位分辨率高等优点。

 

全行程采用电容位移传感器闭环反馈控制系统设计,电容位移传感器是将位移变化转换为电容电量信号的变化。电容位移传感器简单易用,而且拥有极高的精度,可达到亚纳米量级。结合数字闭环控制器,纳米定位工作台的响应时间和稳定时间可达到毫秒量级。低的移动质量和高的刚度结合可以提供非常高的带宽。

 

对于大行程的纳米定位台,采用目前业内zui*的双传感技术与以往相比可以提供更快的响应速度,提高有效载荷出现变化时的稳定性和更高的带宽。这项突破性的技术能够应用于各种袖珍模拟和数字控制器,其操作简便,为用户提供*性能。

 

公司的一维纳米定位工作台主要包含以下几款产品:

 

①超紧凑型闭环亚纳米微动台

 

 

AU-NPS-X-5A一款已推出全球市面上体积zui小的闭环一微亚纳米级别的微动台。体积只有23 x 16.5 x 7.6 mm(长´´高)。应用电容位移传感器,位移分辨率达到亚纳米级别。空载下的自振频率更是高达8000HZ。采用铝合金材质,其拥有较轻的质量和高的刚度,使其有高的带宽,在zui大负载的情况下响应时间可达到亚毫秒级别。

 

 

 

 

 

超快一维亚纳米定位平台

 

 

AU-NPS-X-10A是一款超快的一维亚纳米微动台,用于高速的、超精密的应用。该设备在空载下的自振频率高达9500HZ。在7g负载的情况下仍可达到8700HZ。并且该产品具有良好的位置重复性。拥有良好的响应速度,响应时间达到毫秒量级。并且该款产品可按照不同需求进行工业定制。

 

 

 

超大行程的一维纳米微动台

AU-NPS-X-500A采用压电陶瓷直推驱动,以柔性铰链为运动副,使其具有较紧凑的体积,使用电容传感器,在整个行程中分辨率精度可高达亚纳米级别。使用双传感设计,可提供更快的阶跃响应,提高有效载荷出现变化时的稳定性,并拥有更大的带宽,使其拥有更快的响应时间。

 

高负载大推力一维亚纳米微动台

 

AU-NPS-X-30B是一款高负载的微动台,zui高负载可高达10kg。其拥有极宽的带宽高达1KHZ。空载下的自振频率更是高达5000HZ

 

 

 

 

除了以上几款产品AU-NPS-X-15A/15D这两款亚纳米一维微动台也拥有优异的性能。外加负载可高达5kg。拥有较高的带宽,在50g负载的情况下,响应时间可达毫秒量级。AU-NPS-X-15DAU-NPS-X-15A属于相同型号,但是具有更高的高度(15.5mm),因此拥有更高的刚度,因此具有较宽的带宽、较低的稳定时间和较高的自振频率。

 

 

u  主要特点

  • 亚纳米的分辨率
  • 高的带宽
  • 高速响应
  • 高的可靠性
  • 结构紧凑
  • 压电陶瓷驱动
  • 柔性铰链设计
  • 电容位移传感器闭环反馈

 

 

 

u  主要应用

  磁头和磁盘驱动测试、计量学、干涉度量学、原子力显微镜等

 

 

 

 

u  产品主要参数

 

 

型号

参数

AU-NPS-X-5A

AU-NPS-X-15A

AU-NPS-X-15D

AU-NPS-X-500A

AU-NPS-X-30B

AU-OEM-X-10A

Material

Aluminium

Stainless steel 316

Stainless steel 316

Titanium &

Aluminium Alloy

Titanium

Titanium

Size

 

23 long x 16.5 wide x 7.6 high

60 long x 40 wide x 13.5 high

60 long x 40 wide x 15.5 high

60 x 60 x 20

60 long x 40 wide x 15.5 high

62 long x 40 wide x 22 high

Range (mm)

Minimum

 

± 7.5

± 7.5

500 

± 15 

± 5

Typical

6.5

± 8

± 8

 

 

± 6

Maximum

 

 

 

 

 

 

Resonant frequency: 0g load

Minimum

 

3000 HZ

3500 HZ

260 HZ

4500 HZ

 

Typical

8000 HZ

 

 

5000 HZ

9500 HZ

Maximum

 

 

 

 

 

Resolution

sub-nanometer

1 nm

sub-nanometer

Maximum load

5 g

5 kg

5 kg

1 kg

10 kg

0.2 kg

Position noise(1σ ) /nmrms

Fast

 

0.2

0.2

 

0.12

0.05

Medium

0.1

0.1

0.1

0.09

0.07

Slow

 

0.05

0.05

0.04

0.1

Linearity error (peak)/%

Minimum

 

 

 

 

 

 

Typical

0.1

0.01

0.01

0.02

0.01

0.01

Maximum

0.2

0.02

0.02

 

0.02

0.02

          

 

 

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