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可定制气体轴承线性位移台

简要描述:LT系列位移平台采用经过特殊设计的空气轴承,该轴承分别对刚度、承载能力和刚度进行了优化。与传统的轴承相比,采用气体为润滑剂,因此所有运动都是无接触的,因此在整个使用寿命之内,设备的性能保持不变,并且无需进行特殊维护。可定制气体轴承线性位移台

  • 产品型号:
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2018-12-03
  • 访  问  量:149
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可定制气体轴承线性位移台

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大行程,高重复精度气体轴承位移台!

所属类别:光机产品/精密定位控制系统 » 电动平移台

可定制气体轴承线性位移台

 

LT系列位移平台采用经过特殊设计的空气轴承,该轴承分别对刚度、承载能力和刚度进行了优化。与传统的轴承相比,采用气体为润滑剂,因此所有运动都是无接触的,因此在整个使用寿命之内,设备的性能保持不变,并且无需进行特殊维护。此外位移平台采用直线电机直接驱动,无须螺杆或齿轮进行传动实现了非常平滑的无干扰的高精度的运动。通过使用天然大理石为平移台移动的桌面,可以实现非常高的重复定位精度。从而使位移平台拥有极低的俯仰、偏摆、滚动、偏航和线性误差。

上海昊量光电设备有限公司推出的空气轴承位移平台可提供从200mm-1500mm不同行程的平台,在可提供大行程的同时,精度可达到300nm,平移台拥有优异的分辨率,重复精度可达到100nm。

 

此外提供高精度的复杂运动和定位方案:

提供不同应用中需要的定位平台、控制器和相关软件

 

Ø整体解决方案

 Ø定制化解决方案 

Ø复杂的多轴与并联运动系统 

Ø超精密空气与机械轴承

Ø软件集成:: LABVIEW, Tango, Epics……

 

产品特点:

l   优异的重复精度

l   超大行程

l   采用空气轴承,无需维护

l   可按客户要求进行定制

 

主要应用

l   高性能扫描

l   光学检测系统

l   超精密研磨和切削

l   光伏系统

l   医疗系统

l   同步辐射或X射线

l   激光加工

l   半导体行业

l   晶体处理

 

产品参数:

 

 

Units

LS100

LS200

LS300

LS400

LS500

LS1000

LS1500

travel

mm

100

200

300

400

500

1000

1500

load capacity

kg

>65

>65

>65

>65

>65

>65

>65

accuracy

μm

±0.3

±0.5

±0.5

±0.5

±0.5

±1.0

±1.0

repeatability

μm

±0.1

±0.15

±0.15

±0.2

±0.2

±0.4

±0.4

flatness

μm

±0.2

±0.4

±0.5

±1

±1.5

±3

±5

pitch

μrad

±4

±8

±12

±13

±14

±29

±39

roll

μrad

±4

±8

±12

±13

±14

±29

±39

yaw

μrad

±4

±8

±12

±13

±14

±29

±39

 

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