薄膜应力测量仪-上海昊量光电设备有限公司

品牌	昊量光电	产地类别	进口
应用领域	综合

AUT-FST 5000 薄膜应力测量仪

基于经典基片弯曲法Stoney公式测量原理，采用激光扫描方式和探测技术，以及智能化的操作，使得AUT-FST5000薄膜应力测量仪特别适合于晶圆类光电薄膜样品的弓高、翘曲、轮廓形貌、曲率半径和薄膜应力测量和计算.

规格	参数
基本原理	激光曲率法基于Stoney公式
主要方法	采用双波长激光对样品进行扫描测量 635 nm/670 nm 波长/ ≤5mW
主要功能	自动测量晶圆样品轮廓形貌、弓高、翘曲度、曲率半径和薄膜应力
薄膜应力测试范围	1- 10000 MPa
曲率半径测试范围	2- 20000 m
曲率半径重复精度	≤±1 % @1σ（曲率半径≤20 m） ≤±2.5 % @1σ （曲率半径 ≤ 200 m）
扫描步长	0.1 mm
样品尺寸	子型号M6-标配6 英寸，向下兼容4、3、2 英寸子型号M8-标配8 英寸，向下兼容6、4、2 英寸子型号M12-标配12英寸，向下兼容8、6、4 英寸
样品台	电动旋转+水平位移样品台
样品基片校正	可数据处理校正原始表面不平影响（对减模式）
电源	110-220 VAC & 200 Watts Maximum
通讯连接端口	USB 3.0
工作温度	室温
操作软件	可视化2D/3D显示晶圆轮廓形貌、弓高、翘曲度、曲率半径和薄膜应力分布；一键自动生成检测报告；视窗界面/适用于Windows 10 系统
操作电脑	标配品牌台式一体机：显示器：≥21英寸，≥8 G内存，CPU ≥ 2.5 GHz，≥512 G硬盘
外形尺寸	～850 宽×550深×450 高 mm
重量	~ 35 K g
质量保证	一年免费/终身维护
备注	以上所列技术规格与参数更新恕不另行通知，如有疑问请联系我们

更多详情，欢迎直接联系昊量光电！

关于昊量光电：

上海昊量光电设备有限公司凭借强大的本地化销售网络与专业技术支持团队，长期服务于国内数以万计工业及科研客户，涵盖半导体、生物医疗、量子科技、精密制造、生物显微、物联传感、材料加工、光通讯等前沿领域。

昊量光电拥有的专家级的软硬件开发团队及丰富的行业应用经验，可提供：

✅ 全天候售后技术支持——快速响应，确保设备稳定运行；

✅ 定制化解决方案——从售前咨询到安装，培训，系统集成等，满足多样化需求；

✅ 客户高度认可——服务案例覆盖众多头部企业及科研机构，客户满意度持续居前列。

您可以通过我们昊量光电的网站了解更多的产品信息。

薄膜应力测量仪