| 品牌 | 昊量光电 | 产地类别 | 国产 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 综合 |
70W 大功率 紫外UV-LED曝光光源（ALE/2系列，12英寸晶圆）
--- 适用于12英寸大型基板曝光
ALE/2 系列UV-LED曝光光源是一款大功率的曝光光源，高达70W的i线(365nm)曝光,高达80W的宽带曝光（350-450nm）,适用于均匀度较高以及准直性能高的大型基板曝光工具（比如12英寸，8英寸），目前已广泛试用在掩膜对准系统，步进系统(封装）,准直曝光系统及大功率辐射要求的固化系统，ALE/2系列UV-LED曝光光源已成为半导体光刻制造及检测领域中的一个理想工具。
ALE/2系列UV-LED曝光光源是一款高性能紫外点光源，适用于需要均匀和准直辐射的大型基材工业泛光曝光工具。这些可能是8″（200毫米）或12″（300毫米）掩模对准器。它的紫外线输出足够强大，可以为更大的装置提供动力，正方形曝光面积可达400 X 400毫米，在某些情况下，甚至超过这个范围。ALE/2采用UV-LED技术，具有优异的输出稳定性和灵活的光谱控制，优于传统的高压汞放电灯。此外，它还消耗更少的电力，产生更少的热量，持续时间更长，并且不需要太多的整体维护。
ALE/2系列UV-LED曝光光源可以在光路中组合四个反馈控制的高功率UV-LED。可提供i线（CWL 365 nm）和宽带（CWL 365 / 405 / 436 nm）配置。在纯i线工艺中，ALE/2 系列UV-LED曝光光源的性能可媲美额定功率高达5,000 W的传统放电汞灯光源。对于宽带模式，ALE/2系列UV-LED曝光光源的照明功率也可与2,000 W放汞灯光源相媲美。
ALE/2系列UV-LED曝光光源遵循分布式设计方法，通常由一个控制子系统（CSS）+一个单独的曝光子系统（ESS）组成。ESS 的标准光出口是一个 16 mm X 16 mm 的光管 ，光引擎可以与标准和定制的聚光光学元件结合使用，以实现高度均匀的曝光。
70W 大功率 紫外UV-LED曝光光源（ALE/2系列，12英寸晶圆）应用场景：
| 半导体光刻制造（12英寸大基板） | 光固化应用和其他 |
| 掩膜对准系统 | 大面积光固化（400mm） |
| 步进系统（封装） | 高辐射剂量固化应用 |
| 准直曝光系统 | 紫外成像 |
| 晶圆光刻曝光 | |
| 晶圆缺陷检测 |
ALE/2系列- 70W大功率-UV-LED曝光光源主要特点：
内置解决方案可实现更高曝光效率和性能；
高达70W的纯i线曝光（365nm）;
高达80W的宽带模式曝光（350-450nm）;
闭环光控制输出；
无汞，绿色光源；
无需外部冷却，更节能；
ALE/2系列 -70W大功率-UV-LED曝光光源性能展示：
ALE/2系列大功率UV-LED曝光光源规格参数：
| 发光单元选项 | 多大4个波长，如365nm, 385nm，405nm,435nm |
| 输出功率 | up to 80W@宽带， up to 70W@i线-365nm |
| 数值孔径 | NA 0.3(2a ~35°) 配合标准聚光镜 （condenser） |
| 控制配置 | 1、独立的LED电源管理和预设； 2、高分辨率强度调整（10%-100%）； 3、LED上升时间<1ms； 4、持续监控光输出和反馈控制； |
| 通讯接口 | 1、离散PLC接口（TTL）； 2、USB(串行)； 3、以太网/MOdbuS TCP/IP （可选）； |
| 热管理 | 1、带内部散热器的液体冷却（Standard mode）； 2、外部冷却器（可选项），（performance mode ）; |
| 尺寸（W H D） | ESS 21 x 21 x 36cm ； CSS 44 x18 x 37cm ; |
| 重量 | ESS 4Kg ; CSS 10Kg ; |
| 电源输入 | 110-240V/ 50-60Hz / 1500W |
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