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新机来袭!德国非接触方块电阻测试仪样机预约体验

更新时间:2026-01-07 点击次数:14

新机来袭!德国非接触方块电阻测试仪样机预约体验


EddyCus® lab 2020 系列方块电阻测试仪样机是一款台式实验系统,它采用涡流技术,替代四探针方案,用于非接触式单点测量导电薄膜的金属层厚度和方块电阻。它能够快速、精确地测量zui大200 x 200 mm²(8 x 8英寸)样品,并支持多种材料,包括薄金属层、晶圆和导电聚合物等材料。


非接触式单点方块电阻测试仪提供了一种现代、无接触的传统四点探头(4PP)及其他接触式测量方法的替代方案。无需物理接触,无需表面准备,且不受封装或表面粗糙度的影响。


lab 2020 系列方块电阻测试仪能够测量多个参数。方块电阻与金属层厚度、发射率和电阻率相关。只要材料性质明确,所有这些参数都可以高精度测量。



测量参数:

  • 金属厚度(nm, um)

  • 方块电阻(Ohm/sq)

  • 发射率

  • 电导率/电阻率(mOhm·cm)

  • 电各向异性(%)

  • 重量 (g/m’) 和烘干状态 (%)

  • 渗透性(H/m) Beta



四探针传统方法对比


对比维度四探针测试非接触电涡流测试(EddyCus)


方案

接触方式触点式测量,触点质量影响结果非接触式,实时无损
测量范围单点测量,部分支持Mapping成像高分辨率Mapping成像,支持在线过程控制
对样品影响可能损坏敏感面,无法测量封装后薄膜对敏感膜无伤害或伪影,可测封装膜层和多层膜系统
测量类型仅支持单点方块电阻测试支持多种膜层与系统测量
探头耐久性探头随时间磨损无磨损,使用寿命长
适用场景适用于部分简单薄膜测量适用于触摸型敏感层及多层膜系统等精密场景



Mapping图


应用场景


导电薄膜


触摸面板


导电纺织品


智能玻璃


电池电极


各类晶圆等


样机设备适配参数



基板面积8 inch / 204 mm × 204 mm(三面开放)
zui大样本厚度 / 传感器间隙3 / 5 / 10 / 25 mm(由zui厚的样本确定)
方阻范围0.001 – 3,000 Ω/sq
方阻准确性/偏差±1 – 3%
方阻重复性 (2σ)<0.3 – 3%



金属厚度范围与精度

低:1 – 10 nm;精度 2 – 5 %
标准:10 – 1,000 nm;精度 1 – 3 %
高:1 – 100 μm;精度 0.5 – 3 %
(精度受设置及金属类电导率影响)


电阻率测量

3 mm线圈:1 – 100 mΩ·cm;精度 < 3%,重复性 < 0.3%
9 mm线圈:1 – 1,000 mΩ·cm;精度 < 5%,重复性 < 2%


薄层电阻测量

3 mm线圈:0.01 – 10 Ω/sq;精度 1 – 3%,重复性 < 1%
9 mm线圈:0.01 – 100 Ω/sq;精度 < 3%,重复性 < 0.3%
设备尺寸(宽 × 高 × 深)11.4" × 5.5" × 17.5" / 290 mm × 140 mm × 445 mm
设备重量10 kg



设备控制和软件









上海昊量光电是德国EddyCus® lab 2020 系列的中国代理商,新引进的方块电阻测试仪样机现已开放预约!诚邀各领域研发、质检与生产单位参与体验,亲身体验非接触式测量的精准与高效。
体验时间:即日起至2026年2月10日

体验形式:寄样测试(上门测试限部分地区)

 


更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电

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上海昊量光电设备有限公司是光电产品专业代理商,产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、光学元件等,涉及应用涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防、量子光学、生物显微、物联传感、激光制造等;可为客户提供完整的设备安装,培训,硬件开发,软件开发,系统集成等服务。

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