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新一代智能UV打印系统——DMD无掩模光刻机

时间:2021-02-25 点击次数:96

Microlight3D是一家生产用于工业和科学应用的高分辨率微尺度2D和3D打印系统的专业制造商。智能UV打印(SP-UV)系统,是该公司新产品。这是一种配有一个385 nm的紫外LED光源,基于DMD(Digital Micromirror Device)的全新无掩模光刻系统,因此SP-UV可以兼容所有标准的微电子光刻胶,包括微流体应用中不可或缺的i-line光阻剂SU-8。这一特点为半导体加工领域的开发人员,在光刻胶材料的选择上提供了更加广阔的空间。

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DMD无掩膜光刻机SP-UV的优势之一是对DMD光学投影技术的应用。这一技术在提高直写精度和速度的同时,提供了四种不同的直写分辨率。搭配Microlight3D的“快速切换”物镜系统,仅需2秒就能完成分辨率切换。

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Microlight3D执行官Denis Barbier表示:“Microlight3D的SP-UV技术可以与更广泛光刻胶材料相兼容。在为无掩模光刻的应用开拓了新的领域的同时,满足了开发人员对多功能性和可负担性的需求。”“我们使芯片实验室和其他领域(光电子学、MEMS、自旋电子学)的研究人员可以更容易、更快速地在较大表面积上(120x120 mm²),加工微米分辨率的复杂结构。由于该系统集成度非常高,使各种用户都可以无障碍的使用,我们也因此希望SP-UV在微流体以及各个领域中的小批量生产上开辟新的市场机会。”

 

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无掩膜光刻机SP-UV的另一大优势是具备精心挑选的物镜焦距范围,以允许较长工作距离(可达3厘米)。这意味着SP-UV可以用于非标准基底,包括那些弯曲(比如光学镜片)、柔性或者较厚的。而竞品机型的工作距离通常较短,在处理非平坦基底时非常困难。

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无掩膜光刻机SP-UV的385nm紫外光源配有一个反馈相机,使聚焦更容易,并同时用于检查和校准。作为一种新的投影技术,385nm的LED光源与高性能电动位移台相结合,使开发人员能够在微米分辨率的水平上 进行快速微结构制造。

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该系统配套的高性能电动位移台,提高了准精度的同时,也降低了拼接误差。设备核心被封装在具有紫外线保护的包装的空间内,使其可以在通常环境下安全使用。

 

无掩膜光刻机SP-UV可以达到目前直写速度等级(高达1000mm²/min);当分辨率为6μm时,其速度是其他品牌类似产品的两倍,而当分辨率为15μm时,其速度可达其他品牌类似产品的10倍。

 

关于生产商:

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Microlight3D是高分辨率 微尺度 2D和3D打印系统的专业制造商。Microlight3D致力于满足科学家和工业研究人员新的设计加工需求,以及高精度生产任何几何或非几何形状的微型零件。通过结合2D和3D微纳打印技术,Microlight3D为客户提供了制造更大尺寸复杂部件的灵活性。它的目标是为未来的新兴领域提供更快、更复杂的微型制造系统。Microlight3D的设备现用于微光学、微流体、微机器人、超材料、细胞生物学和微电子学等。

Microlight3D在2016年成立于法国格勒诺布尔,在Grenoble Alpes大学(UGA)进行了超过15年的3D微纳打印技术研发。

 

上海昊量光电作为Microlight3D在中国大陆地区大的代理商,为您提供专业的选型以及技术服务。对于Microlight3D有兴趣或者任何问题,都欢迎通过电话、电子邮件与我们联系。

 

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