| 品牌 | 昊量光电 | 产品型号 | SM-110PO(Pro)/SM-110SO(Standard) |
|---|---|---|---|
| 测量原理 | 反射分光法（光学干涉法） | 测量膜厚范围 | 0.1–100μm（Pro单层） |
| 多层测量 | Pro支持3层，Standard支持单层 | 测量波长范围 | 400–1000nm |
| 测量重复性 | 2.1σ<0.01μm（SiO? 1μm） | 测量光斑直径 | Φ1mm及以下 |
| 数据输出 | CSV文件，可保存至U盘 | 主机尺寸 | 约H54×W138×D198mm |
| 主机重量 | 约1.1kg |
昊量光电/星朗浩宇Smart手持式膜厚测量仪
便携式现场测量手持式膜厚仪，数据库全，测量简便，快速现场测量简单易上手！
便携式现场测量该产品Smart系列
产品简介
昊量光电/星朗浩宇Smart手持式膜厚测量仪是一款专为便携式携带和测量开发的即时测量解决方案。它采用光学干涉的原理测量薄膜厚度，无需校准曲线即可随时随地对样品进行非破坏、非接触式测量。
该产品采用反射分光法（光学干涉法）测量薄膜厚度。例如在测量基底上的薄膜时，从样品上方入射的光会在薄膜上发生发射，穿透薄膜的光会在基底与薄膜的界面处发生反射。通过测量不同反射光之间的光程差引起的相位差所产生的光学干涉现象，可根据测得的反射光谱与折射率计算出薄膜厚度。
该产品主机尺寸小，重量仅有1.1kg，外出携带便携，数据库丰富，操作界面友好，初学者也能快速完成测量。可根据测量测量场景选择配件，可测量狭窄区域样品，非接触样品以及远离主机测量。
该产品产品特点
非接触式、非破坏式测量
使用分光干涉法对样品进行非接触、非破坏式的测量便携、易于携带
主机尺寸较小，重量仅约1.1kg，便于携带测量简便
拥有简洁直观的UI设计，初学者也能轻松完成测量可适配多层膜测量
Pro版手持测量仪可支持测量3层薄膜无需检量线
分光干涉法使得其在部分情况下可以无需设置检量线直接进行检测
该产品技术参数指标
产品型号 | SM-110PO (Pro) | SM-110SO (Standard) |
测量原理 | 反射分光法（光学干涉法） | |
测量膜厚范围 | 0.1–100 μm (单层), 1–100 μm (多层) | 1–50 μm (单层) |
支持多层测量 | 支持 3 层 | 单层 |
显示反射率 / 功率谱 | 支持 | 不支持 |
测量波长范围 | 400 – 1000 nm | |
测量重复性 | 2.1σ < 0.01 μm (SiO₂ 1 μm) | |
测量光斑直径 | Φ1 mm 及以下 | |
数据输出类型 | 可导出为 CSV 文件并保存至 U 盘 | |
主机尺寸 | 约 H54 × W138 × D198 mm (含突出部分) | |
主机重量 | 约 1.1 kg | |
SM-110PO (Pro)适用于多层薄膜的机型，SM-110SO (Standard)适用于单层薄膜的入门级机型。
该产品应用场景
该产品可进行现场即使测量，如SiO2，SiN，光刻胶，氟树脂聚酰亚胺，丙烯酸树脂，有机硅，RET材料，TAC材料，PP材料等薄膜的测量。
问答小贴士
对于远距离的场景或狭窄场景的样品能测量吗？
可以，该产品有多功能配件可选，有狭窄区域使用的笔型探头，远离主机测量的长光纤，用于非接触测量的非接触式平台，能够适应大多数场景的测量。SM-110PO (Pro)系列和SM-110SO (Standard)系列如何选择？
SM-110PO (Pro)系列可以支持3层膜以下测量，SM-110SO (Standard)系列仅支持单层膜测量。测量数据可以导出吗？
可以，该产品可以将数据保存到U盘，也能记录历史测量数据。
便携式手持膜厚测量仪，随时随地快速测量。
上海市徐汇区虹梅路2007号6号楼3楼
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