昊量光电/星朗浩宇超高速分光干涉膜厚仪

昊量光电/星朗浩宇超高速分光干涉膜厚仪

高速实时测量，光学厚度范围15~4500 μm，适用界面粗糙、厚度不均薄膜，可穿透窗材、透过水膜测量

非接触式高速、高精度、高再现性小型化机身分光干涉膜厚分析系统

产品简介

昊量光电/星朗浩宇超高速分光干涉膜厚仪（SF-3）是一款基于光的干涉原理进行膜厚测量的系统，当光照射到测量对象（基板），表面反射的光和底部反射的光相互形成干涉（多重反射）。光的相位一致则强度加强，相位存在偏差则强度减弱。随着波长的变化，可以观测到反射强度变化的干涉条纹波形，通过解析这种波形求得膜厚。SF-3膜厚解析主要采用周波数解析法，结合专有的折射率n的波长分散性进行解析，可得到高精度、接近真实的膜厚值。

SF-3可应用于多种测量场景，搭载约 20μm 微小测量光斑，可应对带图案晶圆、界面粗糙、涂层不均、粒子分散等复杂被测样品，无需制作检量线，支持多层膜同步解析。同时SF-3能够在穿透窗材中进行长距离测量，也可以在水中透过水膜测量。

SF-3具有小型化机身，便于安装和移动；测量厚度范围广，光学厚度测量范围可达15 μm ~ 4500 μm；实时测量速度快，采样周期（MIN）可达 5kHz，测定取样周期在1 m sec以下，可实时追踪产线移动工件厚度变化，输出带时间戳精密膜厚数据；重复测量精度高，标准偏差在0.01%以下；测定距离广，测定距离可从50 mm - 200 mm。

该产品核心特点

• 非接触式、非破坏式测量

  使用分光干涉法对样品进行无接触、非破坏的测量

  
  

• 高度再现性

  多次重复测量之间的误差小，精度高，1000 μm 基准样品重复二十次标准偏差在0.003 μm 以内

  
  

• 较长的工作距离

拥有较长的work distance，方便嵌入制造设备

• 多层膜对应

可利用分光干涉的原理对应测量多层薄膜厚度

• 无需检量线

分光干涉法使得其在部分情况下可以无需设置检量线直接进行检测

• 高速且即时的研磨检测

能以正确的间距测量移动测定对象，高速追踪时移变化，正确的测定取样周期，高度适配工厂的生产线

该产品参数指标

⁽*¹⁾测定条件和解析条件不同，取样周期不同

⁽*²⁾产品出库基准的保证值规格，本司基准样品AirGap约300μm与约1000μm测定时的相对标准偏差（n=20）

⁽^*3⁾WD50mm 探头式样的设计值

⁽⁴⁾测定薄膜时使用

CE 取得品为 SF-3/300、SF-3/1300

该产品应用场景

该产品可用于薄膜厚度测量、SiO2膜厚测定、背面粗糙测量、界面粗糙测量、厚度不均测量、功能性粒子分散测量、带图案圆镜测量、穿透窗材测量、水中测量、透明水膜测量、
存储材料测量、光学材料测量、树脂测量、半导体材料测量、晶圆测量、电解基膜测量、防水膜测量。

问答小贴士

1. 该产品主要用来做什么？
   
   主要用于薄膜厚度和衬底的测量，应用于各种制造工序，可对应客户的广泛需求。

   

   
   

2. 它和普通膜厚仪有什么区别？
   
   它式采用分光干涉原理进行测量的圆晶膜厚仪，其测量精度更高，能够进行无接触测量和多层薄膜测量。

   
   

3. 它能够测量粗糙的样品吗？
   
   可以测量，它具有良好的耐粗糙能力，能够测量背面粗糙样品、界面粗糙样品、厚度不均匀样品、功能性粒子分散样品和带图案晶圆样品等。

   
   

4. 它能进行穿透测量吗？
   
   可以，它能够在穿透窗材中进行长距离测量，也可以在水中透过水膜测量。

   
   
   
   

5. 测量速度如何？
   
   测量频率可达5 kHz，测量时间低至200 μ sec每点。

   
   

6. 有区域扫描功能吗？
   
   有，该产品可选配带R-Θ驱动的位移台或带X-Y驱动的位移台，能够进行自动Mapping。
   

   
   

该产品采用非接触、非破坏式分光干涉测量技术，可快速分析膜厚。