213nm深紫外单纵模激光器-上海昊量光电设备有限公司

213nm深紫外单纵模激光器

简要描述：213nm深紫外单纵模激光器，，适用于光学计量、213纳米光学系统校准或高功率ArF准分子激光器带宽控制等应用。

产品型号：

厂商性质：代理商

更新时间：2025-11-19

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品牌	昊量光电	产地类别	国产
应用领域	综合

213nm深紫外单纵模激光器：

德国xiton photonics公司是二极管泵浦固体激光器和非线性光学器件的专家。可以开发和制造几乎任何所需波长的可靠激光系统，拥有20多年的激光器研发经验，重点开发深紫外和紫外激光器。

IXION SLM 213是一款单纵模全固态激光系统，适用于光学计量、213纳米光学系统校准或高功率ArF准分子激光器带宽控制等应用。光谱带宽接近其理论傅立叶极限。该激光器在M²< 1.6的衍射受限光束中提供持续时间为6 - 8ns的短输出脉冲，重复频率在1至15 kHz之间。在213nm处，平均输出功率高达100mw，具有超稳定的脉冲走线和超过1.5 m的高相干长度，这是传统激光器无法实现的。

213nm深紫外单纵模激光器参数：

Wavelength/波长	213 nm
Average power/平均功率	100mW
Pulse duration/脉宽	typ 6-8 ns
Energy per pulse/单脉冲能量	10µJ
Repetition rate/重复频率	1-15 kHz
beam quality/光斑质量	M² < 1.6
Spectral bandwith/谱宽	< 100 MHz

深紫外单纵模激光器产品特点：

光谱带宽

光斑质量

深紫外单纵模激光器产品应用：

光谱仪校准
光刻
干涉测量
晶圆检测
全息测量
光致发光

213nm深紫外单纵模激光器

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