DLP/DMD光刻照明光源-上海昊量光电设备有限公司

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应用领域	电子,综合

昊量光电新推出LumiDLP光刻照明光源通过大面积提供高度均匀的通量密度为紫外DLP应用提供qian所wei有的速度和分辨率。模块化设备结合了密集封装的UV-LED阵列成为一种高效、非成像采集光学设备，集成了远心成像光学优化DLP芯片组。

这款DMD光刻光源为基于DLP技术的具有挑战性的曝光应用提供出色的UV-LED照明。特别是要求蕞高强度和多波长光谱的设置非常适合。数值孔径为0.2（光束角度±12°）和非常高的照明均匀性、这些构成DLP-芯片曝光的wan美解决方案。

DLP/DMD照明器提供高达30W的光辐射功率。单波长和多波长设置可供选择（365nm、385nm、395nm、405nm）。这款DLP/DMD光刻照明光源提供的辐射功率与汞放电灯相当、但具有LED技术的寿命和总成本优势。此外、DLP/DMD光刻照明光源还可以很好地替代基于单色激光二极管（例如、LD405nm）的照明器。

LumiDLP光刻照明光源是专为DLP9000和DLP9500芯片设计的、可以轻松集成到基于DMD的系统中。

DLP/DMD 光刻照明光源产品亮点：

专为DLP®9000和DLP®9500设计
包括高性能LED驱动器、便于控制和编程
高强度性能能够缩短/减少处理时间
由于频谱宽广、可以使用多种类型的抗蚀剂
不会过时的无汞光源

DLP/DMD 光刻照明光源产品规格：

辐射输出功率	DLP9500蕞高30W DLP7000蕞高20W
波长配置	365nm、385nm、395nm、405nm Single and multi-wavelength setups available
光出口角	±12° 匹配DLP微镜倾斜角度
照明均匀性和DMD芯片溢位	>90%均匀性 >10%溢位
热管理	液体冷却设置快速连接、无泄漏耦合所需入口温度≤25℃ <25°
使用寿命	>3000h 模块化、易于更换系统、蕞大限度减少停机时间
LED-驱动器	每个通道0-3A、每个LED阵列18个通道恒流、可调光、脉宽调制
外部接口	USB 2.0 10/100Mbps以太网 RS-232 (TIA-232-F)
程序	串行（USB）和远程登录（以太网）通信命令集
尺寸和重量	照明器：27.5cm×8cm×8.5cm 驱动器：23cm×29cm×4.5cm
重量	照明器：~1.5kg 驱动器：~2kg

更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电

关于昊量光电：

上海昊量光电设备有限公司是光电产品专业代理商，产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、光学元件等，涉及应用涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防、量子光学、生物显微、物联传感、激光制造等；可为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等服务。

DLP/DMD光刻照明光源

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