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DLP/DMD光刻照明光源

简要描述:DLP/DMD光刻照明光源:昊量光电新推出LumiDLP光刻照明光源通过大面积提供高度均匀的通量密度为紫外DLP应用提供qian所wei有的速度和分辨率。模块化设备结合了密集封装的UV-LED阵列成为一种高效、非成像采集光学设备,集成了远心成像光学优化DLP芯片组。

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  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2022-12-21
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应用领域电子,综合



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昊量光电新推出LumiDLP光刻照明光源通过大面积提供高度均匀的通量密度为紫外DLP应用提供qian所wei有的速度和分辨率。模块化设备结合了密集封装的UV-LED阵列成为一种高效、非成像采集光学设备,集成了远心成像光学优化DLP芯片组。

这款DMD光刻光源为基于DLP技术的具有挑战性的曝光应用提供出色的UV-LED照明。特别是要求蕞高强度和多波长光谱的设置非常适合。数值孔径为0.2(光束角度±12°)和非常高的照明均匀性、这些构成DLP-芯片曝光的wan美解决方案。

DLP/DMD照明器提供高达30W的光辐射功率。单波长和多波长设置可供选择(365nm、385nm、395nm、405nm)。这款DLP/DMD光刻照明光源提供的辐射功率与汞放电灯相当、但具有LED技术的寿命和总成本优势。此外、DLP/DMD光刻照明光源还可以很好地替代基于单色激光二极管(例如、LD405nm)的照明器。

LumiDLP光刻照明光源是专为DLP9000和DLP9500芯片设计的、可以轻松集成到基于DMD的系统中。


DLP/DMD 光刻照明光源产品亮点:

  • 专为DLP®9000和DLP®9500设计

  • 包括高性能LED驱动器、便于控制和编程

  • 高强度性能能够缩短/减少处理时间

  • 由于频谱宽广、可以使用多种类型的抗蚀剂

  • 不会过时的无汞光源



DLP/DMD 光刻照明光源产品规格:

辐射输出功率
  • DLP9500蕞高30W

  • DLP7000蕞高20W

波长配置
  • 365nm、385nm、395nm、405nm

  • Single and multi-wavelength setups available

光出口角
  • ±12°

  • 匹配DLP微镜倾斜角度

照明均匀性和DMD芯片溢位
  • >90%均匀性

  • >10%溢位

热管理
  • 液体冷却设置

  • 快速连接、无泄漏耦合

  • 所需入口温度≤25℃ <25°

使用寿命
  • >3000h

  • 模块化、易于更换系统、蕞大限度减少停机时间

LED-驱动器
  • 每个通道0-3A、每个LED阵列18个通道

  • 恒流、可调光、脉宽调制

外部接口
  • USB 2.0

  • 10/100Mbps以太网

  • RS-232 (TIA-232-F)

程序串行(USB)和远程登录(以太网)通信命令集
尺寸和重量
  • 照明器:27.5cm×8cm×8.5cm

  • 驱动器:23cm×29cm×4.5cm

重量
  • 照明器:~1.5kg

  • 驱动器:~2kg




更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电

关于昊量光电:

上海昊量光电设备有限公司是光电产品专业代理商,产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、光学元件等,涉及应用涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防、量子光学、生物显微、物联传感、激光制造等;可为客户提供完整的设备安装,培训,硬件开发,软件开发,系统集成等服务。

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