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亚微米精度超紧凑电控平移台

亚微米精度超紧凑电控平移台

简要描述:

亚微米精度超紧凑电控平移台,电控位移台也称为电控平移台是一种依靠步进电机驱动的执行装置,通过丝杠将步进电机的角位移转换为平台位移。通常情况下该系统由三部分组成:位移台、电机和控制器。驱动电机及控制器主要决定驱动扭矩、分辨率、加减速度、信号处理等性能参数。位移台则是系统的心脏,主要指标参数有位移精度、行程、负载、稳定性、适用环境等。

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亚微米精度超紧凑电控平移台

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超紧凑亚微米电控平移台!

所属类别:光机产品/精密定位控制系统 » 电动平移台

技术服务人员:李工(William)

高精度电动平移台

 

电控位移台也称为电控平移台是一种依靠步进电机驱动的执行装置,通过丝杠将步进电机的角位移转换为平台位移。通常情况下该系统由三部分组成:位移台、电机和控制器。驱动电机及控制器主要决定驱动扭矩、分辨率、加减速度、信号处理等性能参数。位移台则是系统的心脏,主要指标参数有位移精度、行程、负载、稳定性、适用环境等。

昊量光电推出的超紧凑电动平移台装配交叉滚子导轨,使其在紧凑的体积下拥有较高的刚度和精度。该系列电动位移台可提供6-32mm不同的行程范围。传动装置采用拥有间隙补偿不可逆的滚珠丝杠装置。驱动采用步进电机可以提供大的扭矩和速度。采用光栅尺闭环控制,在提供大行程的同时拥有较高的精度。

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该系类平移台提供6mm16mm32mm三种不同行程的位移平台,并可根据不同的要求提供真空下工作的平移台,最高真空度可达10-8mbar.

 

  • 亚微米精度超紧凑电控平移台主要特点

l   高分辨率

l   高重复定位精度

l   采用滚珠丝杠,实现高精度定位

l   采用高等级交叉滚珠导轨,具有超高运动性能

 

u  亚微米精度超紧凑电控平移台主要应用

 

超精密激光加工、超精密三维扫描测量、全自动计量仪器检测设备、工业自动化等领域。

 

主要参数:

Characteristics

Specifications

Travel

6mm

16mm

32mm

Theoretical   resolution

200nm/step

1.56 mm/ step

Unidirectional   repeatability

3 mm

Max   Velocity

0.2mm/s

1.5mm/s

1.5mm/s

Load   capacity

1 Kg

Size

48´18´13 mm

40´40´17 mm

80´40´25 mm

Material

 

Aluminum

Variant   and option

High or   Ultra-high vacuum preparation

Absolute   encoder on motor side

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